河南某材料研究院定制一臺(tái)PECVD氣相沉積設(shè)備

PECVD設(shè)備成品視頻展示

客戶(hù)背景

河南某材料研究院是一家專(zhuān)注于新材料研發(fā)的科研機(jī)構(gòu)，主要研究半導(dǎo)體薄膜、納米材料及先進(jìn)涂層技術(shù)。該研究院需要一臺(tái)PECVD（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備，用于高質(zhì)量薄膜制備，以滿足其在光電子材料、半導(dǎo)體器件及功能涂層方面的研究需求。

需求分析

客戶(hù)希望定制的PECVD設(shè)備具備以下核心要求：

沉積材料：能夠沉積Si、SiNx、SiO?及DLC等多種薄膜材料。

基片尺寸：支持直徑4英寸及6英寸的基片，兼容實(shí)驗(yàn)室小批量制備。

氣體系統(tǒng)：支持SiH?、NH?、O?、CH?等多種氣體，實(shí)現(xiàn)不同材料的沉積需求。

溫度控制：加熱溫度可達(dá)800℃，保證薄膜質(zhì)量。

等離子體源：采用13.56MHz射頻電源，確保等離子體均勻穩(wěn)定。

真空系統(tǒng)：配置高性能機(jī)械泵+分子泵，極限真空度可達(dá)10??Pa。

自動(dòng)化控制：采用PLC+觸摸屏操作，提供全自動(dòng)沉積流程，提升實(shí)驗(yàn)效率。

設(shè)備解決方案

針對(duì)客戶(hù)需求，我們?cè)O(shè)計(jì)并制造了一臺(tái)高精度PECVD氣相沉積設(shè)備，具體配置如下：

沉積腔體：采用高真空不銹鋼反應(yīng)腔，內(nèi)壁鏡面拋光，減少顆粒污染。

射頻電源：配置13.56MHz射頻電源，并搭配匹配網(wǎng)絡(luò)，提高等離子體穩(wěn)定性。

氣體輸送系統(tǒng)：四路MFC(質(zhì)量流量控制器)精確控制氣體流量，確保沉積工藝穩(wěn)定。

溫控系統(tǒng)：采用精密PID控溫技術(shù)，保證基片均勻受熱。

真空系統(tǒng)：采用進(jìn)口分子泵與機(jī)械泵組合，實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境，減少雜質(zhì)影響。

自動(dòng)化控制：PLC+觸摸屏人機(jī)界面，實(shí)現(xiàn)一鍵啟動(dòng)、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)、歷史記錄查詢(xún)等功能。

設(shè)備交付與客戶(hù)反饋

設(shè)備完成制造后，我們進(jìn)行了嚴(yán)格的工廠測(cè)試(FAT)，并在客戶(hù)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試(SAT)。經(jīng)過(guò)一系列工藝測(cè)試，設(shè)備的沉積均勻性、膜層厚度精度、重復(fù)性等均達(dá)到了客戶(hù)預(yù)期。

客戶(hù)反饋：

? 膜層均勻性良好，滿足科研需求

? 操作便捷，自動(dòng)化程度高，極大提升了實(shí)驗(yàn)效率

? 真空系統(tǒng)穩(wěn)定，等離子體控制精準(zhǔn)，確保實(shí)驗(yàn)重復(fù)性

結(jié)語(yǔ)

本次PECVD設(shè)備定制項(xiàng)目圓滿完成，設(shè)備已穩(wěn)定運(yùn)行，并為客戶(hù)的科研工作提供了強(qiáng)有力的支持。作為實(shí)驗(yàn)室真空設(shè)備專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商，我們將持續(xù)優(yōu)化產(chǎn)品，助力更多科研機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高端薄膜材料制備需求。

如您有PECVD設(shè)備需求，歡迎聯(lián)系我們!