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在高純度石英玻璃制備中,羥基(OH?)是影響其光學(xué)、熱學(xué)性能的關(guān)鍵雜質(zhì)。采用氧化鋁爐膛、石英玻璃爐管,工作溫度達(dá)1200℃的立式真空脫羥爐,結(jié)合PLC自動化控制,為半導(dǎo)體、光纖及光學(xué)領(lǐng)域提供了一種高效、經(jīng)濟(jì)且潔凈的脫羥基解決方案。
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氫氣管式爐是一種將樣品放置在密閉的石英管或剛玉管中,通入氫氣(或含氫氣的混合氣體),在精確控制的溫度曲線下進(jìn)行加熱處理的爐子。
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一個經(jīng)常被問到的問題是我們實驗室現(xiàn)有的管式爐,能不能直接用來做CVD實驗?zāi)兀看鸢甘强梢?,但有?yán)格的限制條件。
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